Leistungszentrum »Funktionsintegration für die Mikro-/Nanoelektronik«Die technologische Entwicklung der Mikroelektronik verläuft immer rasanter, was gerade den Mittelstand als Innovationstreiber z.B. im Maschinenbau vor erhebliche Herausforderungen stellt. Besonders leistungsfähige Produkte, die genau auf die jeweilige Anwendung abgestimmt sind, werden zur Standardanforderung vieler Kunden. Solche »smarten« und vernetzten Sensor- und Aktor-Systeme erfordern spezifische, hochintegrierte technische Lösungen, werden aber oftmals nur in kleineren Stückzahlen benötigt. Kommerzielle »off-the-shelf“ Mikroelektronik-Chips sind hierfür oft nicht ausreichend, spezialisierte Chipentwicklungen in einer klassischen Entwicklungskette hingegen zu langwierig und im Hinblick auf die geringen Stückzahlen auch nicht wirtschaftlich.
Mit diesem Projekt soll dieser Widerspruch überwunden werden. In einem Verbund aus Instituten des Leistungszentrums und einem Industriepartner wird ein für eine Vielzahl von Sensoranwendungen geeigneter Mikroelektronik-Chip als Plattform entwickelt, auf welche vielfältige Sensoren integriert werden können. Dieser Chip übernimmt die Messwertaufnahme, Vorverarbeitung der Messdaten, deren Speicherung sowie Kommunikation nach außen und kann mit unterschiedlichsten physikalischen Sensoren bestückt bzw. kombiniert werden. Durch dieses Plattform-Konzept soll einerseits eine für Verhältnisse der Mikroelektronikindustrie ausreichende Stückzahl sichergestellt werden und andererseits genügend Spielraum für an die jeweiligen Kundenanforderungen angepasste individuelle Sensorlösungen geschaffen werden.n.